新型半导体材料化学。碳化硅又叫金刚砂,是用石英砂、石油焦、木屑等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物莫桑石,在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种。
碳化硅是当前发展最成熟的宽禁带半导体材料,世界各国对碳化硅的研究很重视,美欧日等不仅从国家层面上制定了相应的研究规划。碳化硅因具有很大的硬度而成为一种重要的磨料,但其应用范围却超过一般的磨料。它所具有的耐高温性、导热性而成为隧道窑或梭式窑的首选窑具材料之一,它所具有的导电性使其成为一种要的电加热元件等。碳化硅材料还可应用于功能陶瓷、耐火材料、冶金原料等应用为一种重要的磨料,但其应用范围却超过一般的磨料。它所具有的耐高温性、导热性而成为隧道窑或梭式窑的首选窑具材料之一,它所具有的导电性使其成为一种重要的电加热元件等。碳化硅材料还可应用于功能陶瓷、耐火材料、冶金原料等应用领域。碳化硅器件的发展难题不是设计难题,而是实现芯片结构的制作工艺,如碳化硅晶片的微管缺陷密度、外延工艺效率低、掺杂工艺的特殊要求、配套材料的耐温等。碳化硅生产的另一个问题是环保、由于碳化硅在冶炼过程中会产生一氧化碳、二氧化硫等有害气体,同时粉尘颗粒如果处理不当,污染非常严重。